电容基片厚度0.3um用什么测厚仪器来测量？

这么小的数值，就要使用高精度的测厚仪，日本三丰测厚仪 318-226DC，测量范 围为0-50mm，分辨力可切换：0.01/0.1、1.0um,是可以达到测量要求的。

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