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十六万转应用于纳米级别应用的超精密气主轴

十六万转应用于纳米级别应用的超精密气主轴


这款气主轴是一款超高速空气涡轮气浮主轴 ,转速高达十六万转每分钟,功率56W,主轴装上刀具跳动精度低至1μm。常用于半导体行业,晶圆加工,半导体高光加工等

高速气浮主轴

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