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松本新闻
半导体工件高转速高光加工,100000转气浮主轴可满足加工需求
      有些半导体工件,需要进行高光加工,需要高转速、高精度的加工工具,才能满足表面加工需求,可以使用日本NAKANISHI高速气浮主轴ABT-1000 ,其转速高达100000转/min,主轴跳动精度在1um以内,很满足加工需求。

高速气浮主轴高光加工

半导体加工

  因加工条件的要求高,所以对于体积小、精度高、转速高的高速气浮主轴,也是符合加工需求的,ABT-1000气浮主轴,转速能高达100000转/min,精度是在1um以内,直径40mm,且径向可承受力20N以下,轴向可承受力35N以下,是经常用于半导体加工行业,效果好。

ABT-1600气浮主轴

ABT-1000高速气浮主轴

  高速的气浮主轴 ,配上小直径好刀具,其表面的效果非常不错的,所以很多精密加工都是会找高转速、高精度的高速主轴进行加工,从而满足加工需求。
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