晶圆体精密工件，所以加工需要一次性加工而成，所以对于加工的工具要求高，其需要刚性强，高转速、高精度，缺了都达不到加工效果，而日本NAKANISHI中西高速气浮主轴ABT-1600，其转速高达160000转/min，精度在1um以内，径向可承受力10N以下，轴向可承受20N以下，刚性强，所以这款是适合半导体高光加工，一次性达到加工效果。